L’américain intègre dans un microcontrôleur un capteur de contrainte piézoélectrique utilisant le même matériau PZT en film mince que la mémoire Fram embarquée.

San Francisco – Texas Instruments a profité de la conférence ISSCC pour exposer un microcontrôleur à mémoire Fram avec capteur de contrainte intégré, destiné à la détection de mouvements pour des applications à très faible consommation – par exemple des télécommandes ou des jouets qui s’éteignent lorsqu’ils sont inutilisés mais doivent se réveiller lorsqu’on les manipule. Ici, la partie capteur utilise un film mince en PZT (plomb-zirconium-titane), qui non seulement affiche de bonnes propriétés piézoélectriques mais en plus s’avère être le même matériau que celui utilisé pour les condensateurs servant d’éléments non volatiles dans la Fram : les outils et masques de fabrication seront donc les mêmes. Ce capteur et son frontal analogique n’occupent que 0,6mm² sur la puce gravée en 130nm, et consomment tout juste 650nA pour une fréquence d’échantillonnage de 100Hz (400nA à 33Hz). Leur sensibilité aux mouvements est de 1,33mV/g sur une pleine échelle de 30g : par de quoi mesurer des accélérations avec précision, mais largement de quoi détecter un mouvement dans les applications visées.