Le laboratoire grenoblois a réalisé un imageur sensible à une large bande 300 GHz à 1 THz et fabriqué selon un process 130 nm économique. San Francisco – Sujet de nombreuses études depuis une décennie, l’imagerie Terahertz se pose théoriquement comme une alternative séduisante à l’imagerie par rayons X, grâce à son aspect non-irradiant. Associé à l’UMR de Montpellier, le CEA-Léti a présenté une avancée significative en la matière à ISSCC. Le laboratoire grenoblois a en effet décrit un imageur THz complet, sensible à l’ensemble de la bande 300 GHz – 1 THz et réalisé dans une technologie Cmos 130 nm générique (quoique sur un substrat affiné à 130 µm d’épaisseur pour limiter les pertes) et donc économique.

Cette large palette de fréquences, qui le distingue des modèles réalisés jusqu’ici (souvent limités entre 600 et 650 GHz), est notamment rendue possible par l’intégration de pixels de 190 x 190 µm en forme d’arc. Un seul transistor MOSFET à canal N agit comme élément de détection pour chaque pixel. Le réseau de 3 x 4 pixels présenté ici bénéficie également d’une réponse de sortie plus élevée (90 kV/W à 300 GHz, 1,8 kV/W à 1,05 THz) et d’amplificateurs 31 dB à basse consommation (97 µW) intégrés à chaque pixel. Cette faible consommation permet d’envisager la réalisation de matrices plus grandes (120 x 160 pixels).