Besoin de faire fabriquer des composants micro-usinés ? Un nouveau service de fonderie de Mems vient d’être ouvert par Sumitomo Precision Products. Mems Infinity, c’est son nom, assure la production de capteurs et d’actuateurs Mems sur des tranches de 150 ou 200mm de diamètre, à travers près de 2000m² de salle blanche localisée à Amagasaki. Il s’agit d’une des rares fonderies de Mems équipée en films fins PZT, des matériaux piézoélectriques convenant par exemple aux composants acoustiques et ultrasoniques. Chez Sumitomo, ce savoir-faire remonte au rachat, dans les années 90, du Britannique STS, spécialiste des équipements de production de Mems, suivi du lancement par le Japonais de familles d’accéléromètres et de gyroscopes micro-usinés.
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