Melexis a mis au point une nouvelle technologie micro-usinée de capteurs de pression, baptisée Triphibian et dont l’originalité est de fonctionner à la fois sur une pleine échelle élargie et en contact avec un liquide. Elle emploie pour cela une travée suspendue (cantilever) placée sous la membrane, au sein d’un boîtier compact incluant également le circuit de mise en forme des signaux (lecture, régulation de tension, traitement numérique par DSP 16 bits, pilotes de sortie). Le premier témoin de cette innovation est le MLX90830, un capteur Mems délivrant une sortie analogique proportionnelle à la pression de gaz ou de liquide entre 2 et 70 bar. Il supporte des pics à 2000 bar/ms et des poussées statiques jusqu’à 210 bar. Le fabricant belge destine le MLX90830 à la gestion thermique des véhicules électriques, mais sa technologie peut convenir à d’autres applications : « la capacité à témoigner de la pression de liquides ouvre la porte à des applications, au sein de l’industrie automobile et au-delà, qui n’étaient jusqu’ici pas accessibles aux technologies Mems », estime Laurent Otte, responsable de cette ligne de produits.