Le sud-coréen a conçu un module miniature de détection de gaz basé sur des résonnateurs Mems associés à des couches de polymères, et combinant une grande précision et une consommation réduite.

San Francisco – Samsung a profité de la conférence ISSCC pour présenter (entre autres composants) un capteur Mems de gaz original. Dans un module de 4×3,7x1mm, le sud-coréen a en effet réussi à intégrer quatre détecteurs de gaz ainsi que des capteurs de température et d’humidité permettant de compenser les variations de mesure selon les conditions ambiantes, et les blocs analogiques et numériques de traitement du signal. Les détecteurs de gaz sont constitués d’une couche de polymère surplombant un oscillateur à ondes acoustiques de surface (SAW) à 2,5GHz constitué d’un résonateur Mems. La concentration en gaz, ici le toluène, fait dériver la fréquence d’oscillation du SAW (environ 245kHz/ppm). Samsung parvient à obtenir une détection de toluène précise à 1ppm avec une consommation inférieure à 1mW et une sensibilité élevée. En outre, il est possible de détecter différents gaz (acétone, éthanol, etc.) en changeant simplement de polymère. L’utilisation de deux puces (les Mems sont superposés sur une puce Cmos 100nm par wirebonding) permet d’industrialiser différents capteurs à partir d’une même base de traitement du signal.