Un protocole d’accord avait été signé en mai 2015.
L’Imec belge et JSR Micro, fabricant japonais de matériaux, viennent de finaliser l’accord de création d’une société conjointe en photorésines EUV. Un protocole d’accord avait été signé en mai 2015.
La société conjointe a été baptisée EUV Resist Manufacturing & Qualification Center (EUV RMQC). Elle est détenue en majorité par JSR Micro NV, filiale de JSR Micro, et est basée à Louvain (Belgique).
Dans la pratique, la production de photorésines échoit à JSR Micro NV et le contrôle qualité à l’Imec.
La mise au point de nouvelles photorésines EUV est cruciale pour l’avenir de la lithographie EUV.
