Asahi Glass Company met le paquet en masques EUV

Le 12/02/2018 à 7:44 par Didier Girault
Asahi Glass Company

Le groupe japonais annonce qu’il va doper la production de son usine de Koriyama (préfecture de Fukushima) en vue de répondre à une demande croissante.

Asahi Glass Company (AGC), un fabricant japonais de verres et de matériaux de haute technologie, annonce qu’il va investir dans la production d’ébauches de masques à destination de la lithographie aux ultra-violets extrêmes (EUV). Cette fabrication est localisée dans l’usine de Koriyama (préfecture de Fukushima, Japon) qui s’appuie sur quelque 600 personnes et traite de matériaux destinés à la production de semi-conducteurs. Cette entité est dénommée AGC Electronics.

Les ébauches de masques destinées à la lithographie EUV sont constituées d’un substrat de verre sur lequel sont déposées des couches de matériaux successives. La difficulté de leur fabrication vient de ce qu’elles doivent présenter une planéïté quasi parfaite et être exemptes de tout défaut. AGC a commencé à travailler sur de telles ébauches de masques à partir de 2003.
 

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