Les délais de livraison des modèles NXT 1950i d’ASML, équipements spécialisés pour les process en-deçà de 38 nm, atteignent 12 mois.

Aujourd’hui, les fabricants de mémoires Dram qui commandent à ASML des équipements de lithographie à immersion, matériels dédiés à la réalisation de produits en technologie inférieure à 38 nm, doivent attendre 12 mois pour être livrés.
Certains, qui ne veulent pas attendre autant, ont passé commandes de modèles plus anciens (famille XT d’ASML) pouvant néanmoins produire des circuits en technologie 38 nm.
Toutefois, la pénurie d’équipements par immersion devrait impacter globalement la production de mémoires Dram au second semestre 2010.