Un Procédé Pour Le 20 Nm Et En Deçà

Le 01/04/2013 à 15:00 par Didier Girault
La technologie Alde mise au point par Nanoplas est un procédé de gravure plasma révolutionnaire à très grande sélectivité. Il permet de résoudre le problème de gravure et d’élimination des spacers des transistors en 20nm et en deçà. N anoplas, spécialiste français des équipements dédiés aux nouvelles générations de circuits intégrés (technologies 20, 14, 10…
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