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La méthode SPDR assure des mesures simples et précises des substrats
La mesure des propriétés diélectriques des substrats et des couches minces repose sur une compréhension approfondie des facteurs qui affectent la permittivité et la tangente de perte d’un matériau, et sur une méthode de mesure qui peut les prendre en compte. La méthode SPDR (Split-Post Dielectric Resonators) développée par l’américain Keysight Technologies est un moyen…
