Avec les technologies nanométriques, des facteurs comme le rendement et la fiabilité d’un process de fabrication deviennent extrêmement sensibles aux phénomènes physiques. L’un des moyens pour optimiser ces phénomènes, et donc améliorer rendement et fiabilité, consiste à appliquer les techniques de conception pour la fabrication (DFM) aux bibliothèques de cellules standards, éléments critiques d’une conception…