Plusieurs nouveaux équipements ont été mis en place sur la ligne 300 mm de la salle blanche du Leti, institut de CEA Tech. Objectif de ce dernier : acquérir une plus grande autonomie technologique pour répondre à la demande des industriels.
Souhaitant se consacrer davantage à la production, les industriels partenaires du Leti poussent le laboratoire à acquérir plus d’autonomie sur la filière 300 mm. En plus de son travail d’innovation, il doit être en mesure d’intégrer des étapes à haute valeur ajoutée et d’aller jusqu’à l’échantillonnage et au prototypage de petites séries. Dans cette perspective, un projet d’acquisition de nouveaux équipements (35) a été initié en 2017. La moitié d’entre eux est d’ores et déjà installée et qualifiée.
C’est le cas en particulier d’équipements de lithographie à l’état de l’art, dont la clé de voute est un scanner 193 nm à immersion qui permettra d’atteindre des niveaux de précision de lithographie inégalés au Leti, ainsi que la cellule de métrologie associée. D’autres équipements servant prioritairement les projets menés avec ST Microelectronics (développement de nouvelles générations d’imageurs par exemple) ou Soitec (développement de nouveaux substrats SOI RF) figurent également dans la liste, ainsi que d’autres, plus génériques.
A l’avenir, les innovations nées au laboratoire pourront être testées en interne sur des équipements identiques à ceux des industriels, pour un transfert rapide et efficace. Les start-up du Leti bénéficient également de ces investissements pour réaliser des démonstrateurs en 300 mm. Enfin, cette évolution de la ligne 300 mm permet d’attirer des clients internationaux qui viennent enrichir l’écosystème local.
