Cette technologie permet de piéger les impuretés résiduelles des boîtiers sous vide abritant des capteurs à MEMS.

Le groupe américain Materion (2800 personnes, 1,1 milliard de dollars de chiffre d’affaires), qui est spécialisé dans les matériaux, vient d’acquérir la technologie NanoGetters de son compatriote Integrated Sensing Systems, concepteur et fabricant de capteurs à Mems. Cette activité a été incluse dans le département « Optique de précision » de Materion.

La technologie NanoGetters consiste en l’application, sous vide, de couches minces de matériaux piégeurs de particules. Ces matériaux piègent les impuretés gazeuses et l’humidité résiduelle présentes dans les boîtiers hermétiques où sont installés des capteurs à base de MEMS. Ce qui permet d’améliorer les caractéristiques de fonctionnement de ces capteurs.

Jusqu’alors, cette technologie a été principalement utilisée pour la fabrication de détecteurs infra-rouges. Mais Materion prévoit d’étendre l’utilisation de la technologie NanoGetters à une foule d’autres capteurs à Mems : inertiels, médicaux…