Le résonateur Mems n’est plus seulement l’apanage de jeunes pousses de l’industrie du semiconducteur. La société NXP Semiconductors, issue de Philips Semiconductors, vient de présenter ses réalisations en la matière à IEDM avec un résonateur piézorésistif à la structure particulière. Dans le domaine des composants radiofréquences, plusieurs freins ralentissent encore le vieux rêve d’intégration système…