La lecture de cet article est réservée aux abonnés.
Connectez-vous ou abonnez-vous pour y accéder.
Temps fréquence : le résonateur Mems se dope à la piézoélectricité
Le Centre suisse pour l’électronique (CSEM) vient de présenter des travaux laissant augurer d’une amélioration notable des résonateurs Mems dont la faible stabilité en température nécessite une compensation par boucle à verrouillage de phase gourmande en courant. Sa solution consiste à ajouter un film piézoélectrique de nitrure d’aluminium sur le dessus du résonateur silicium et…
