Initiée au CEA-Leti de Grenoble, la technologie FD-SOI est aujourd’hui largement utilisée pour la fabrication de composants à faible consommation et à fiabilité élevée, notamment par STMicroelectronics, Samsung et GlobalFoundries. Et le centre de recherche isérois entend conserver son rôle moteur en la matière. En atteste le projet NextGen qui vient d’initier le développement de technologies de fabrication FD-SOI dans des nœuds de 10nm et moins. Aujourd’hui, le gros de la production FD-SOI s’effectue en 28, 22 et 18 nm.
Le projet NextGen bénéficie du soutien financier de l’Agence nationale de la recherche dans le cadre du plan France 2030. Son montant avoisinerait les 500 millions d’euros, idéalement prolongés à l’avenir par l’intermédiaire de l’Union Européenne. Il implique l’acquisition d’une quarantaine d’équipements de production à l’état de l’art des fondeurs de semi-conducteurs, afin de pouvoir accélérer par la suite les transferts technologiques vers les industriels, à partir de 2026. Ces équipements seront déployés dans de nouveaux locaux, incluant une salle blanche, dont la première pierre sera déposée à l’automne. Au-delà du FD-SOI, le projet aidera donc le CEA à maintenir ses salles blanches aux standards internationaux.
