Lab4Mems, un projet de ligne pilote réalisé dans le cadre du programme européen Eniac, s’appuie sur les installations de production de Mems de ST.
STMicroelectronics vient d’annoncer qu’il a entamé sa collaboration avec des partenaires du domaine de la recherche en vue de développer une ligne pilote pour dispositifs Mems de prochaine génération, qui sera enrichie par des technologies de pointe telles que les matériaux piézoélectriques ou magnétiques, et des conditionnements en 3D. Ce projet a été lancé dans le cadre d’un partenariat public-privé du programme Eniac.
Pour coordonner le projet Lab4Mems, dont la durée est de 30 mois et le budget de 28 millions d’euros, ST collaborera avec des universités, des instituts de recherche et des entreprises de haute technologie appartenant à neuf pays européens. Ce projet bénéficie des installations de production de Mems dont dispose ST en France, en Italie et à Malte pour mettre en place un ensemble de compétences en fabrication de produits, de la conception et la fabrication jusqu’aux tests et au conditionnement.
Le projet a pour vocation de développer des technologies telles que les couches minces piézoélectriques (PZT) afin d’améliorer les actuels Mems qui font uniquement appel au silicium.
Ces améliorations sont nécessaires pour créer des capteurs intelligents, des actionneurs, des micro-pompes et des systèmes de capture d’énergie qui répondent aux exigences des futures applications suivantes : stockage de données, impression à jet d’encre, santé, automobile, commande industrielle et immotique, et autres applications grand public telles que les smartphones ou les appareils de navigation.
Le projet permettra par ailleurs de développer des technologies de conditionnement de pointe et des interconnexions verticales de type flip-chip, vias traversants (TSV – Through-Silicon Vias) et TMV (Through-Mold Vias), en vue de réaliser des circuits 3D intégrés pour des applications telles que les capteurs corporels ou de télésurveillance.
Le projet Lab4Mems, coordonné par ST, a été sélectionné en 2012 et ses travaux ont débuté en janvier 2013.
